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微壓傳感器是工業(yè)實踐中最為常用的一種壓力傳感器,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、液壓機械、除塵設(shè)備等眾多行業(yè)。
微壓傳感器工作原理
微壓傳感器在測量過程中,壓力直接作用在傳感器的膜片上,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻發(fā)生變化,同時通過電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號,這樣的過程就是微壓傳感器進行測量的過程。
對于微壓傳感器來說,靈敏度和線性度是微壓力傳感器最重要的兩個性能指標(biāo)。為了制作出能夠滿足實際應(yīng)用需求的傳感器,必需探索出一種微壓力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。實際的研究中,發(fā)現(xiàn)一種基于對壓阻式壓力傳感器薄膜表面應(yīng)力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過這一方法實現(xiàn)了在滿量程范圍內(nèi)不同壓力值下對傳感器電壓輸出值的精確估計,在此基礎(chǔ)上對壓力傳感器的靈敏度和線性度進行了有效仿真。
微壓傳感器發(fā)展迅速,新研制出的一類傳感器采用壓電單晶片結(jié)構(gòu),并內(nèi)置前置放大器,通過放大器放大微弱信號并實現(xiàn)阻抗變換,從而使傳感器具有量程小、靈敏度高、抗干擾性好等特點。這類傳感器已廣泛用于脈搏、管壁壓力波動等微小信號的檢測。但與此同時,對于微壓傳感器精準(zhǔn)度的檢驗這一技術(shù)難題,就迫切需要簡便的測量裝置測量該類型傳感器的性能。
微壓傳感器應(yīng)用
A、氣動控制系統(tǒng);
B、石化、環(huán)保、空氣壓縮;
C、樓宇自動化、樓宇消費系統(tǒng);
D、工業(yè)過程檢測與控制;實驗室壓力校驗
F、電站運行巡檢、機車制動系統(tǒng);
G、爐膛氣壓控制、通風(fēng)系統(tǒng)壓力控制;